【摘 要】
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本文针对目前制作聚合物电泳芯片常用的聚合物材料的特点、聚合物电泳芯片微沟道加工工艺和键合工艺的研究现状进行了综述。用于制作毛细管电泳芯片的高分子聚合物主要有
【机 构】
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哈尔滨理工大学应用科学学院,哈尔滨150080
【出 处】
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2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会
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本文针对目前制作聚合物电泳芯片常用的聚合物材料的特点、聚合物电泳芯片微沟道加工工艺和键合工艺的研究现状进行了综述。用于制作毛细管电泳芯片的高分子聚合物主要有热塑性聚合物和弹性聚合物。热塑性聚合物材料具有良好的塑性、熔融状态下的稳定性便于成型操作等优点,代表性材料为聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)等;弹性聚合物具有价格便宜、绝缘性好、透光性好等优点,但PDMS疏水性强,需要通过表面改性提高表面的亲水性,代表性材料为聚二甲基硅氧烷(PDMS)等。
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