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会议论文
真空灌封
真空灌封
来源 :中国电子学会真空电子学分会第七届真空技术应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cqwsxwsx
【摘 要】
:
在真空器件的研制和高压电源的研制过程中,常常要进行灌封,以保证性能.本文根据真空下物质的特点,提出了真空灌封的工艺应用.
【作 者】
:
樊会明
【机 构】
:
中国科学院电子学研究所三室
【出 处】
:
中国电子学会真空电子学分会第七届真空技术应用学术会议
【发表日期】
:
2002年6期
【关键词】
:
真空灌封
真空器件
集成高压电源
灌封原理
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在真空器件的研制和高压电源的研制过程中,常常要进行灌封,以保证性能.本文根据真空下物质的特点,提出了真空灌封的工艺应用.
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