【摘 要】
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压力传感技术对于汽车、航空航天、石油钻井和军事应用等领域有着十分重要的意义,但是适用于高温极端恶劣环境下的压力传感器技术一直被国外公司垄断,严重制约了我国大型装备
【基金项目】
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国家重点研发计划2016YFB0702700支持
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压力传感技术对于汽车、航空航天、石油钻井和军事应用等领域有着十分重要的意义,但是适用于高温极端恶劣环境下的压力传感器技术一直被国外公司垄断,严重制约了我国大型装备制造业的发展。目前市面上主流的压力传感器是扩散硅式和石英谐振式,前者在温度高于120℃时,应变电阻与衬底间的p-n结漏电加剧导致传感器特性严重恶化而失效,后者会在温度高于250℃后材料发生相变从而导致压电特性的退化甚至消失。针对上述情况,本报告将介绍一种适用于高温环境(>300℃)的基于氮化铝薄膜技术的MEMS压力传感器,该类传感器具有体积小、无源无线、灵敏度高、半数字化输出、电路简单、抗干扰能力强、兼容CMOS工艺、可批量生产等优点。
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