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介绍了SIMS微机数据采集与处理系统的研制过程。以VisualC++和VisualBasic为基础,通过自行设计的软、硬件,可以控制VGESCALAB5型多功能电子能谱仪进行SIMS的数据采集和处理工作。并且利用独特的硬件时序设计,实现了多任务数据采集和控制。利用自行设计的系统,与原子能所合作研究了聚变堆包层SiO〈,2〉和TiC涂层的防氚渗透机理。