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会议论文
半导体硅材料生产工艺研究
半导体硅材料生产工艺研究
来源 :第八届全国铅锌冶金生产技术及产品应用学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:b411574103
【摘 要】
:
半导体硅材料主要有多晶硅、单晶硅、硅片、外延气等.本文对半导体硅材料各阶段生产工艺进行了简单概述,并对各种工序中传统工艺和新技术进行了比较研究.
【作 者】
:
杨健
【机 构】
:
北京有色冶金设计研究总院
【出 处】
:
第八届全国铅锌冶金生产技术及产品应用学术年会
【发表日期】
:
2001年6期
【关键词】
:
多晶硅
单晶硅
半导体硅材料
生产工艺
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半导体硅材料主要有多晶硅、单晶硅、硅片、外延气等.本文对半导体硅材料各阶段生产工艺进行了简单概述,并对各种工序中传统工艺和新技术进行了比较研究.
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