【摘 要】
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从单层ZrO2薄膜和单层SiO2薄膜的两种主要损伤形貌出发,分析产生这两种损伤形貌的原因,说明了这两种膜料的单层溶胶-凝胶化学膜损伤机理,即单层ZrO2薄膜的损伤主要由热冲击造成,而单层SiO2薄膜的损伤主要由热吸收造成.还提出了提高这两种膜料的溶胶-凝胶化学膜激光损伤阈值的方法.
【机 构】
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中国工程物理研究院,应用电子学研究所,四川,绵阳,621900 中国工程物理研究院,激光聚变研究中
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从单层ZrO2薄膜和单层SiO2薄膜的两种主要损伤形貌出发,分析产生这两种损伤形貌的原因,说明了这两种膜料的单层溶胶-凝胶化学膜损伤机理,即单层ZrO2薄膜的损伤主要由热冲击造成,而单层SiO2薄膜的损伤主要由热吸收造成.还提出了提高这两种膜料的溶胶-凝胶化学膜激光损伤阈值的方法.
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