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介绍了一种新型的微机械加速度计--热对流加速度计的工作原理及加工制造工艺.由于加速度计由单晶硅腔体、加热器和两只在加热器两侧并与加热器等距的温度传感器构成,其本身没有活动部件,因此这种加速度计的抗冲击能力几乎达到材料本身的强度.本文通过实验的方法验证了这种加速度计能适应各种恶劣环境,为器件的实用化奠定了基础.