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固有频率是静电梳状微谐振器中非常重要的动力学参数，而梳齿结构固有频率的变化会引起驱动性能不可忽视的改变。梳齿偏移制造缺陷是静电梳状微谐振器常见的制造缺陷之一，梳齿的偏移将导致梳齿状结构静电场力的变化和失衡，使梳齿产生弯曲变形及相应的预应力，预应力分布及大小将对结构的固有频率产生影响，进而会对结构的驱动性能产生影响。