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真空电弧源镀制TiO<,2>薄膜研究
真空电弧源镀制TiO<,2>薄膜研究
来源 :首届七省区市机械工程学会科技论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chennyliu
【摘 要】
:
本文在真空条件下利用真空电弧源在不同基底材料上镀制了 TiO2薄膜。对影响镀膜过程和膜层质量的氧气工作压强和偏压等因素进行了研究。X 射线衍射结构分析结果显示 TiO2薄膜
【作 者】
:
周友苏
张立珊
【机 构】
:
北京联合大学机电学院
【出 处】
:
首届七省区市机械工程学会科技论坛
【发表日期】
:
2005年期
【关键词】
:
真空条件
弧源
薄膜
物理性质
射线衍射
锐钛矿相
膜层质量
金红石相
结构分析
基底材料
化学性质
工作压强
镀膜过程
氧气
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本文在真空条件下利用真空电弧源在不同基底材料上镀制了 TiO2薄膜。对影响镀膜过程和膜层质量的氧气工作压强和偏压等因素进行了研究。X 射线衍射结构分析结果显示 TiO2薄膜主要以锐钛矿相为主及少量的金红石相。对 TiO2薄膜的物理性质、化学性质进行了初步检测。
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