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该文从可行性的角度出发介绍了一种微电子机械系统(MEMS)谐振器的新结构。它利用单晶硅作为扭摆式振动轴进行谐振。主要特点在于设计方法极大地降低了结构和材料的应力因素对频率和品质因子Q的影响，该文用Algor软件对其结构进行了分析，并提出了一种与集成电路(IC)工艺兼容的制作流程。
一种新型的单晶硅扭振式谐振器的初步研究
【摘 要】
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该文从可行性的角度出发介绍了一种微电子机械系统(MEMS)谐振器的新结构。它利用单晶硅作为扭摆式振动轴进行谐振。主要特点在于设计方法极大地降低了结构和材料的应力因素对
【机 构】
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东南大学微电子中心
【出 处】
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第一届全国纳米技术与应用学术会议
【发表日期】
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2000年期
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