【摘 要】
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电子束物理气相沉积(EBPVD)是现代功能薄膜制备的重要方法之一,本文对EBPVD中蒸气粒子输运的几个关键问题的研究进展进行了阐述。首先,对工程中广泛应用的余弦律的适用范
【机 构】
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中国科学院力学研究所高温气体动力学重点实验室,北京,100190
【出 处】
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第十四届中国空气动力学物理气体动力学学术交流会
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电子束物理气相沉积(EBPVD)是现代功能薄膜制备的重要方法之一,本文对EBPVD中蒸气粒子输运的几个关键问题的研究进展进行了阐述。首先,对工程中广泛应用的余弦律的适用范围进行了分析。提出了作为余弦律理论基础的自由分子流的失效判别准则。其次,针对多源EBPVD,给出了一个可以制备大面积多组分均匀薄膜的优化方案。当蒸发速率增大,余弦律不再成立时,目前最有力的跨流域分析工具是直接模拟Monte Carlo(DSMC),因此第三个关键问题是如何确定金属蒸气粒子的碰撞参数。最后,概述了典型多源蒸发大面积钇钛薄膜中三维低密度非平衡射流的流场特性,以及4英寸钇钛薄膜厚度与组分分布的计算结果和测量数据的对比。
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