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阴极技术是真空电子器件尤其是大功率微波器件的核心技术之一。其中阴极表面成型技术是阴极制备工艺中的关键技术，它的好坏决定了阴极发射的均匀性等关键性能。本文介绍了目前在阴极表面加工中所应用的技术，其中包括阴极毛坯的初加工以及最后的圆弧表面加工。
阴极表面成型技术
【摘 要】
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阴极技术是真空电子器件尤其是大功率微波器件的核心技术之一。其中阴极表面成型技术是阴极制备工艺中的关键技术，它的好坏决定了阴极发射的均匀性等关键性能。本文介绍了目前在阴极表面加工中所应用的技术，其中包括阴极毛坯的初加工以及最后的圆弧表面加工。
【机 构】
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中国科学院电子学研究所微波器件与技术研究发展中心
【出 处】
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中国科学院电子学研究所2006年青年学术交流会
【发表日期】
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2006年5期
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