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本文介绍了密封电子元器件按照国家军用标准进行氦质谱背压检漏,执行固定法程序时,可能出现比较大的误差问题.分析了产生误差的原因,提出了解决该问题的具体方法.
对电子元器件氦质谱背压捡漏固定法的改进意见
【摘 要】
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本文介绍了密封电子元器件按照国家军用标准进行氦质谱背压检漏,执行固定法程序时,可能出现比较大的误差问题.分析了产生误差的原因,提出了解决该问题的具体方法.
【机 构】
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首都航天机械公司,北京
【出 处】
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第十三届全国质谱分析和检漏会议、第八届全国真空计量测试年会
【发表日期】
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2005年期
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