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对电子元器件氦质谱背压捡漏固定法的改进意见
对电子元器件氦质谱背压捡漏固定法的改进意见
来源 :第十三届全国质谱分析和检漏会议、第八届全国真空计量测试年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chengyingying
【摘 要】
:
本文介绍了密封电子元器件按照国家军用标准进行氦质谱背压检漏,执行固定法程序时,可能出现比较大的误差问题.分析了产生误差的原因,提出了解决该问题的具体方法.
【作 者】
:
吴孝俭
【机 构】
:
首都航天机械公司,北京
【出 处】
:
第十三届全国质谱分析和检漏会议、第八届全国真空计量测试年会
【发表日期】
:
2005年期
【关键词】
:
密封电子元器件
氦质谱背压检漏
国家军用标准
行固定法
误差问题
方法
程序
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本文介绍了密封电子元器件按照国家军用标准进行氦质谱背压检漏,执行固定法程序时,可能出现比较大的误差问题.分析了产生误差的原因,提出了解决该问题的具体方法.
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