经过多次的演变,控制尘粒的污染已经发展至十分成熟的地步.在最近这年,很多制造工序都要求无尘房间的环境不但达到低微粒的污染,而且对控制气体污染的要求亦十分之严谨;它们都被统称为空气分子污染(Airborne Molecular Contamination,AMC)控制.控制气体污染的方针需求复杂的设计及推行.不过房间内环境气体污染的潜在性是多方面的,而对于准确地分析这些是潜在性是一项十分困难的事.可是气体污染的危机可以是对产品的损坏导致巨大的金钱损失.基于这个理由,确立一个成功的气体污染控制是必须的.但是污染物是不断地由房间内外的环境所产生出来,只是无尘房间的现场环境测试是不足够达到满意的水平.因此不断监控房间内环境的气体污染及化学过滤系统是十分重要的.实施气体污染监控能不断监察不同时间的污染媒介及系统的运作状况,因而减低了运作成本及消除气体污染的风险.控制空气分子污染的技术要求不断地改变,使无尘工业的市场上推出了很多不同的产品,如不同的化学的吸收媒体和特别的过滤系统.一个正确的设计加上适合的化学吸收媒体或化学过滤网能防止污染物进入无尘房间.但是化学吸收媒体是一种损耗性的配件,而且它的费用是十分昂贵的.鉴于所有空调系统都设置了新鲜空气的供应系统,这些系统主要是把室外新鲜的空气供应到无尘房间内.可是室外的空气污染越来越严重.因此市场上便制定及推行了预先处理新鲜空气的方案.这个方案能延长化学吸收媒体的工作寿命及稳定系统的可靠性.