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High-frequency(>100MHz)Piezoelectric PZT Film Micromachined Ultrasonic Arrays
【机 构】
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University of Southern California, NIH Transducer Resource Center and Department of Biomedical Engin
【出 处】
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2008 IEEE International Ultrasonics Symposium(IUS)(2008 IEEE
【发表日期】
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2008年期
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