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开发了一种量程１ｋＰａ，过载能力可达１００倍的压阻微压传感器。将其用真空下的静电封接技术或真空烧结技术制作成绝压敏感元件，即成为目前市售产品中量程小的绝对压力传感器。用其制成测量低真空度的数字真空计，其绝大?恐性能不劣于Ｄｒｕｃｋ公司的电涡流型低压绝压传感器，而价格仅为其三分之一。
一种低真空电测技术的探讨
【摘 要】
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开发了一种量程１ｋＰａ，过载能力可达１００倍的压阻微压传感器。将其用真空下的静电封接技术或真空烧结技术制作成绝压敏感元件，即成为目前市售产品中量程小的绝对压力传感器。用其制成测量
【机 构】
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传感器研究所
【出 处】
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全国计量测试学术大会
【发表日期】
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1998年期
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