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对微机械电容、微机械电感、微机械谐振器/滤波器、微机械传输线、微机械天线阵列和微机械开关等RF MEMS器件的特点、研究现状及其应用领域进行了综述,并展望了它们未来的发展趋势.
RF MEMS器件的研究
【摘 要】
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对微机械电容、微机械电感、微机械谐振器/滤波器、微机械传输线、微机械天线阵列和微机械开关等RF MEMS器件的特点、研究现状及其应用领域进行了综述,并展望了它们未来的发展趋势.
【机 构】
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北京大学微电子学研究所(北京)
【出 处】
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第五届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2001年8期
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