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硅的晶格缺陷与硅材料的性能密切相关.在提高硅材料的质量的实践中,人们不断积累了大量关于硅晶格缺陷的理论知识与实践经验.硅晶格缺陷的具体结构是原子尺度的.开展硅晶格缺陷的分析与研究,首先碰到的是显微技术.本文介绍了硅中各种类型的晶格缺陷,介绍了透射电镜分析技术在这个领域应用中的特色与局限.
硅晶格缺陷的透射电镜(TEM)分析
【摘 要】
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硅的晶格缺陷与硅材料的性能密切相关.在提高硅材料的质量的实践中,人们不断积累了大量关于硅晶格缺陷的理论知识与实践经验.硅晶格缺陷的具体结构是原子尺度的.开展硅晶格缺
【机 构】
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国家微分析中心,复旦大学材料科学系(上海)
【出 处】
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上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会
【发表日期】
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2004年12期
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