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会议论文
K9玻璃的离子束抛光
K9玻璃的离子束抛光
来源 :2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jingqihao
【摘 要】
:
K9玻璃是常用的光学和微系统材料,其表面粗糙度对光学和微系统器件的性能具有十分重要的意义.本文研究了影响K9玻璃离子束抛光效果的因素,并得到了低于0.4nm的表面粗糙度.
【作 者】
:
苏志伟
陈庆川
冯春堂
韩大凯
崔茜容
石连天
【机 构】
:
核工业西南物理研究院,四川成都,610041
【出 处】
:
2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议
【发表日期】
:
2006年10期
【关键词】
:
K9玻璃
离子束抛光
粗糙度
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K9玻璃是常用的光学和微系统材料,其表面粗糙度对光学和微系统器件的性能具有十分重要的意义.本文研究了影响K9玻璃离子束抛光效果的因素,并得到了低于0.4nm的表面粗糙度.
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