【摘 要】
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氧化铈由于具有独特的物理、化学性质而作为一种重要的抛光材料被广泛研究[1]。大量实践和研究表明,CeO2抛光液对SiO2质材料（集成电路、显示面板、光学玻璃等）具有优异的抛光性能[2,3]。随着信息技术的发展,芯片和显示面板的需求量急剧增加,进一步提升平坦化效率是研究的热点[4]。基于此,在本研究工作中采用熔盐法制备了一系列CeO2颗粒,并系统地研究了温度制度、熔盐浓度等工艺参数对颗粒合成的影响,
【出 处】
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第十四届中国包头·稀土产业论坛、中国稀土学会2022学术年会
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氧化铈由于具有独特的物理、化学性质而作为一种重要的抛光材料被广泛研究[1]。大量实践和研究表明,CeO2抛光液对SiO2质材料（集成电路、显示面板、光学玻璃等）具有优异的抛光性能[2,3]。随着信息技术的发展,芯片和显示面板的需求量急剧增加,进一步提升平坦化效率是研究的热点[4]。基于此,在本研究工作中采用熔盐法制备了一系列CeO2颗粒,并系统地研究了温度制度、熔盐浓度等工艺参数对颗粒合成的影响,制备了粒度可控的类球形CeO2颗粒;在此基础上,采用还原气氛辅助煅烧、离子掺杂等方式对CeO2磨料改性制备了形貌粒径均一的多面体及八面体状磨粒。通过改性调控后的CeO2颗粒的缺陷浓度显著提升,将所制备的一系列CeO2基磨料配制成简易抛光液对石英玻璃进行了抛光性能测试。结果表明相较于纯的CeO2磨料,掺杂磨料的抛光效率最大提升了56%,还原气氛辅助煅烧制备的磨料抛光效率最大提升了72%,并且抛光后材料表面粗糙度均控制在～0.5nm。磨料的形貌、粒径及缺陷浓度通过影响与SiO2基底界面处的力学接触行为及化学作用增强了CMP性能。所制备的铈基研磨颗粒在满足纳米级平坦化要求的同时提升了抛光效率,具有潜在的研究价值与应用前景。
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