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本文通过一种简单、无模板的电化学沉积方法,在掺氟(F)的二氧化锡(SnO2)导电玻璃基片(FTO)上利用阴极还原法,制备出了纳米管状ZnO阵列薄膜.用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和高分辨透射电子显微镜(HRTEM)对样品的结构和形貌进行了表征.结果显示ZnO阵列排布取向基本一致,ZnO为六方纤锌矿结构,沿c轴择优生长.