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以钛酸丁酯和金属盐酸盐为原料，采用溶胶凝胶工艺成功制备了磁，陛CoFe2O4/TiO2纳米复合薄膜。通过综合热分析(DSC)、扫描电镜(SEM)、X射线粉末衍射((XRD)和拉曼光谱(Raman)等分析探讨了该复合薄膜的形貌和合成机理;使用振动样品磁场计(VSM)对样品磁性能进行分析。研究发现，当干凝胶热处理温度较低时，材料以非晶态存在，当热处理温度达到400℃时，TiO2基体中开始有CoFe2O4团簇形成，当热处理温度达到600℃时TiO2基体中就形成了大小约为19 nm的CoFe2O4纳米晶，TiO2网状结构可以控制CoFeO4的晶粒大小，二者并没有形成新的物相。CoFe2O4/TiO2磁性复合薄膜呈软磁性，随着热处理温度的升高，饱和磁化强度增高。