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通过建立微机械电容式加速度传感器的等效电学模型,并用该模型对微机械结构和读出电路进行综合仿真,研究了加速度传感器对不同频率的正弦加速度信号和不同阻尼系数下的阶跃加速度信号的振动位移响应。仿真结果表明,利用等效电学模型可以优化设计微机械系统的整体性能和传感器的机械参数。
微机械加速度传感器的电学模拟
【摘 要】
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通过建立微机械电容式加速度传感器的等效电学模型,并用该模型对微机械结构和读出电路进行综合仿真,研究了加速度传感器对不同频率的正弦加速度信号和不同阻尼系数下的阶跃加
【机 构】
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电子科技大学微固学院,成都,610054
【出 处】
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四川省电子学会半导体与集成技术专委会第二届学术年会
【发表日期】
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2007年11期
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