逆傅利叶变换卷积滤波提高光刻分辨率方法研究

来源 :第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:colawing1
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导出光刻成像的计算机模拟公式,提出逆傅利叶变换卷积滤波提高光刻分辨率的原理及方法,并和光瞳滤波进行了比较。在数值孔径为0.60的193μm深紫外光刻曝光机上,实现0.13μm左右的密集型线条,实现较高对比度的空间像光强分布。
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