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我们设计了一种专为固态源使用的新式源瓶,其中舍弃了传统的导流管,同时加入了特殊的不锈钢筛.我们发现了一个载入100克三甲基铟的固态源瓶可提供超过总数相当于93克的饱和蒸气.我们也针对其它固态源进行实验,例如:二茂镁和四溴化碳,测试结果和三甲基铟相同.
专为固态源设计之源瓶
【摘 要】
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我们设计了一种专为固态源使用的新式源瓶,其中舍弃了传统的导流管,同时加入了特殊的不锈钢筛.我们发现了一个载入100克三甲基铟的固态源瓶可提供超过总数相当于93克的饱和蒸
【机 构】
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美国希普励公司
【出 处】
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中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议
【发表日期】
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2003年期
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