【摘 要】
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光学表面微观轮廓粗糙度的检测标准和检测方法以前一直使用的是机械加工的表面粗糙度标准和相关的测试方法。我国相关的国标为GB/T1031-2009。笔者认为,在现代光学高速发展的今天,超光滑光学表面、高质量的超光滑光学表面应用越来越广泛,沿用一般机械加工的表面粗糙度国标作为超光滑光学表面的质量标准已显得越来越不适应,应该有所改进,有所发展。以作者做过的一个软X射线超光滑光学表面微观轮廓测试为例。
【出 处】
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第十四届全国光学测试学术讨论会论文（摘要集
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<正>光学表面微观轮廓粗糙度的检测标准和检测方法以前一直使用的是机械加工的表面粗糙度标准和相关的测试方法。我国相关的国标为GB/T1031-2009。笔者认为,在现代光学高速发展的今天,超光滑光学表面、高质量的超光滑光学表面应用越来越广泛,沿用一般机械加工的表面粗糙度国标作为超光滑光学表面的质量标准已显得越来越不适应,应该有所改进,有所发展。以作者做过的一个软X射线超光滑光学表面微观轮廓测试为例。该样品表面微观轮廓粗糙度测试结果超过GB/T1031-2009表面粗糙度标准中轮廓算术平均偏
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