【摘 要】
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TiN薄膜结构由离子键、共价键和金属键混合而成,其中氮的p轨道能级低于费米能级,这将导致自由电子的运动有些类似于在金属的d轨道上的运动[1].这样的电子结构与金、银等贵金属薄膜相类似,使它具有良好的导电性(约为3.34 × 10-7Ω·cm).特殊结构氮化钛薄膜的制备还不多见,无论是对其本身的性能研究还是对于涂层电极的发展,多孔氮化钛的制备都有其重要的意义.
【机 构】
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浙江工业大学化学工程学院,绿色化学合成技术国家重点实验室培育基地,杭州310032
【出 处】
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第十四届全国有机电化学与工业学术会议暨中国化工学会精细化工专业委员会全国第182次学术会议
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TiN薄膜结构由离子键、共价键和金属键混合而成,其中氮的p轨道能级低于费米能级,这将导致自由电子的运动有些类似于在金属的d轨道上的运动[1].这样的电子结构与金、银等贵金属薄膜相类似,使它具有良好的导电性(约为3.34 × 10-7Ω·cm).特殊结构氮化钛薄膜的制备还不多见,无论是对其本身的性能研究还是对于涂层电极的发展,多孔氮化钛的制备都有其重要的意义.
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