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激光已经广泛应用于微电子学、生物医学、激光惯性约束聚变等领域。近年来，激光与金属、半导体、透明电介质材料作用机理的研究成为热点[1-4]，如激光在硅表面诱导的微结构对太阳电能池有重要的应用前景[5]，因此研究强脉冲激光烧蚀单晶硅的超快过程对研究硅表面微结构的形成以及强激光与物质相互作用的机理有重要意义。