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本文所讨论的为一种抗大过载(150000G)的基于MEMS工艺的微型加速度计,主要内容包括:阐述加速度计的工作原理;设计两种新型的器件结构,并对这种结构进行抗大过载的冲击实验,以验证这种新型的结构对于大过载冲击的可靠性;进而利用ANSYS对器件进行模态分析,并对结构尺寸进行优化;提供一种可能的电路的版图说明,并对加速度计的灵敏性进行理论的分析;最后提供一种可行的加工工艺方法.