【摘 要】
：
本文设计了一款全石英三明治结构谐振式压力传感器,由感压膜片、谐振梁和背腔盖板三部分通过玻璃浆料键合而成.设计了带有振动衰减结构和应力均衡结构的双端固支音叉式谐振梁
【机 构】
：
航天长征火箭技术有限公司,北京100076
【出 处】
：
第十四届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
本文设计了一款全石英三明治结构谐振式压力传感器,由感压膜片、谐振梁和背腔盖板三部分通过玻璃浆料键合而成.设计了带有振动衰减结构和应力均衡结构的双端固支音叉式谐振梁,减小能量损耗,提高品质因数;通过有限元模态分析方法,获得了敏感元件的输入压力与输出频率之间的关系.敏感元件利用MEMS工艺进行制作,采用三维电极制作、石英湿法腐蚀、玻璃浆料密封键合等工艺实现谐振梁、弹性膜片、背腔盖板和敏感元件的制造.在全温区-40℃～60℃对压力传感器进行1KPa～1000KPa压力标定,经温度补偿后压力测量精度为0.098％.
其他文献
提出了基于金金热压键合技术的石英MEMS晶片级封装方法,相比传统的金属管壳或玻璃浆料封装,具有可靠性高、气密性好、易于实现混合集成等优势.介绍了基于石英MEMS制备工艺中
介绍了以MEMS技术为的半导体类空气质量传感器,常见的有膜式结构和悬臂梁式结构.分别阐述了不同结构传感器的特点,并介绍了MEMS半导体气敏传感器的发展前景.
直流离子流场发生装置对电场传感器在离子流场环境下的测试标定具有重要作用.传统直流离子流场发生装置体积较大难于满足新型电场传感器研制和便携式现场应用.对此本文研究了
本文提出了一种谐振式硅微机械陀螺的温度补偿结构,主要用于消除温度对谐振式硅微机械陀螺工作的影响.该陀螺系统结构主要包括两个静电梳齿驱动器,平板质量块、杠杆放大装置,
本文介绍了一种小型双轴石英音叉陀螺的设计,利用以ASIC芯片为核心的模拟电路与ARM实现的数字电路实现两个轴向角速率信号的测量.模拟电路完成对两个轴向石英陀螺敏感元件的
石房蛤毒素(STX)是一种高毒性的海洋毒素,它能够干扰细胞钠离子通道功能从而引发一些心血管疾病.本文介绍了一种基于心肌细胞薄膜技术的新型传感器,用于检测石房蛤毒素.该薄
本文提出了一种新型的宽频带微带天线,辐射贴片基本结构为双同心圆环,选用环氧玻璃纤维树脂材质的基板,基板厚度H=1.6mm.将天线结构印制于30mm×40mm的基板上,同时参考地印制
铂电阻是温度测量仪表中常用的测温元件,具有测温范围宽,线性度好,性能稳定等优点.三线制铂电阻进行温度测量时,铂电阻通常作为测温电桥的某一桥臂感知温度变化,并将电阻值转
对于室温气体传感器的研发,无疑将进一步拓展气体传感器的应用领域,降低器件的能耗,简化传感器的制作工艺.基于金属氧化物的半导体气体传感器是现今应用最广泛的气敏材料.本
微流体驱动是微流控系统中的重要组成部分,其主要作用是传输和分配微流体,在微型传感器、微型生物、化学分析芯片以及各种涉及微流体输送的场合中均有广泛应用.本文对压电式