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对目前制造纳米电子器件的主要途径,例如基于三束的光刻加工技术、分子组装与纳米微粒排列技术、扫描力探针加工技术等进行了概略的介绍,讨论了各种方法所存在的优势与限制,认为综合若干种技术之长可能是我们目前实现特定纳米器件制造的有效途径.
纳米电子器件的制造途径
【摘 要】
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对目前制造纳米电子器件的主要途径,例如基于三束的光刻加工技术、分子组装与纳米微粒排列技术、扫描力探针加工技术等进行了概略的介绍,讨论了各种方法所存在的优势与限制,
【机 构】
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东南大学生物科学与医学工程系(南京)
【出 处】
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第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2000年期
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