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研究一种新型的平衡电压无偏离子风机的改进设计．利用闭环控制系统，对输出电压进行控制；在控制的过程中，传感器对离子风机平衡电压进行实时监测，并通过模拟信号处理电路将电压参数反馈给监控单元，监控单元根据反馈值对输出电压做出相应调整，从而完成离子风机输出电压闭环控制.
新型平衡电压无偏离离子风机的设计
【摘 要】
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研究一种新型的平衡电压无偏离子风机的改进设计．利用闭环控制系统，对输出电压进行控制；在控制的过程中，传感器对离子风机平衡电压进行实时监测，并通过模拟信号处理电路将电压参数
【机 构】
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苏州天华超净科技股份有限公司,江苏,苏州215121
【出 处】
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中国物理学会第十五届静电学术会议
【发表日期】
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2009年8期
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