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本文综合分析了Ti-Al-N系PVD涂层的研究开发动态，总结了Al含量对涂层组织结构、硬度及抗氧化性能的影响，以及通过合金化和纳米复合多层等途径进一步提高涂层综合性能的可行性。
Ti-Al-N系PVD硬质涂层的研究动态
【摘 要】
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本文综合分析了Ti-Al-N系PVD涂层的研究开发动态，总结了Al含量对涂层组织结构、硬度及抗氧化性能的影响，以及通过合金化和纳米复合多层等途径进一步提高涂层综合性能的可行
【机 构】
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广州今泰科技有限公司
【出 处】
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广东省真空学会2010年年会暨广东省真空与低碳技术交流会
【发表日期】
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2010年期
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