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Development of 4GHz Bulk Acoustic Wave Resonatoors by Sputtered Pb(Mn,Nb)O3-Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films
【作 者】
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【机 构】
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Matsushita Electric Works, Ltd., New Product & Technologies Development Department, Kadoma,Osaka,Jap
【出 处】
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2008 IEEE International Ultrasonics Symposium(IUS)(2008 IEEE
【发表日期】
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2008年期
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