【摘 要】
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因应产业技术提升与提高生产品质，雷射干涉技术于业界的应用与日俱增；国家度量衡标准实验室(NML)拟建置可追朔至SI单位物理量的原级冲击校正系统，以降低量测系统的不确定度与提升计量技术精度。本研究依据ISO16063-13所规范之冲击振动原级校正系统建置方法，首先建构以气压作为动力源之冲击产生机构，并根据正弦波近似法建立改良式麦克森干涉模组，且依照ISO的讯号处理方式获得加速度。实验结果显示，两个相
【机 构】
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工業技術研究院量測中心動態工程研究室
【出 处】
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2009海峡两岸现代精度理论及应用学术研讨会
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因应产业技术提升与提高生产品质，雷射干涉技术于业界的应用与日俱增；国家度量衡标准实验室(NML)拟建置可追朔至SI单位物理量的原级冲击校正系统，以降低量测系统的不确定度与提升计量技术精度。本研究依据ISO16063-13所规范之冲击振动原级校正系统建置方法，首先建构以气压作为动力源之冲击产生机构，并根据正弦波近似法建立改良式麦克森干涉模组，且依照ISO的讯号处理方式获得加速度。实验结果显示，两个相位差90度的干涉讯号，在冲击未发生前讯号稳定，在冲击机构已启动但冲击讯号未发生前，两干涉讯号已经显示出经隔振桌传递过来的干扰，而在冲击发生的时间内，铁钻反射面因为冲击行程有扭曲，对于两个干涉讯号的强弱造成影响，导致加速度值计算偏差。未来将持续探究及改善铁钻反射面的表面粗糙及铁钻受冲击时的扭摆行为，以降低由雷射干涉仪所导出的量测误差。
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