【摘 要】
：
原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)是一种高级薄膜制备技术,相对于传统工艺而言,其在沉积层的均匀性、阶梯覆盖率、保形性、重复性等方面都具有明显的优势.
【出 处】
：
第九届中国科学院“百人学者论坛”学术年会
论文部分内容阅读
原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD)是一种高级薄膜制备技术,相对于传统工艺而言,其在沉积层的均匀性、阶梯覆盖率、保形性、重复性等方面都具有明显的优势.利用ALD可实现单层、亚单层、埃级别的沉积物厚度控制,并能够在复杂、多孔结构材料上沉积薄膜或者纳米粒子,对样品形貌无特殊要求.本报告主要介绍以一维纳米材料作为模版,制备氧化物纳米管(如氧化铝、氧化钛、多孔氧化铝等)包覆(限域)的金属纳米粒子(如金、铜、镍等),以及得到的复合纳米结构体现出的独特的物理、光学、以及催化性质等.
其他文献
针对锗硅异质结双极晶体管(SiGe HBT),采用计算机数值仿真的方法分析SiGe HBT单粒子效应损伤机理及影响因素,探讨其单粒子效应敏感区域;采用激光微束单粒子效应模拟
送走鼠年,迎来牛年.习近平总书记在全国政协新年茶话会上发表讲话,勉励大家在新的一年发扬为民服务孺子牛、创新发展拓荒牛、艰苦奋斗老黄牛的精神,在全面建设社会主义现代化
伟大时代孕育伟大思想,伟大思想引领伟大征程.全军上下以习近平强军思想为引领,坚持按纲抓建、为战抓建、精准抓建、常态抓建,基层建设呈现向上向好态势.在看到成绩的同时,更
课堂教学是一个双边活动的过程,只有营造浓厚的自主学习氛围,唤起学生的主体意识,激起学习需要,学生才能真正去调动自身的学习潜力,学生才能成为课堂的主人,成为合作学习的积
红壤和砖红壤胶粒(＜2μm)及其去氧化铁土样分别为不同氯化物(NaCl、KCl、CaCl2、CdC12)饱和后,用纯水配制成一定胶粒浓度(10-20gL-1)的悬液,在不同场强下(10-250kVcm
ZrC是一种非常重要和典型的超高温陶瓷,目前对于ZrC陶瓷的研究重点主要集中在超细粉体的制备、陶瓷的致密化及性能提升,在制各低密度、低热导的ZrC多孔陶瓷隔热材料
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.
石墨烯/六方氮化硼(Graphene/hBN)这种二维原子晶体的异质结构具有许多独特的物理特性.Graphene和hBN之间的晶格失配为1.8％,这使得构造的异质结构呈现出摩尔条纹;并
本文对清水泉复式杂岩体进行SHRIMP锆石U-Pb测年,获得二长花岗岩形成时代为314.4±4.7 Ma,含黑云母花岗岩形成时代为311.7±4.1 Ma,英云闪长岩形成时代为314.0±4.0 Ma,加之