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以Si为衬底利用射频溅射和平面工艺技术制作Pt膜电极（加热器），再涂以SnO<,2>敏感层，制成平面热线式气敏元件。对制作工艺条件及元件的气敏特性进行研究。利用表面修饰技术可以得到选择性好的NH<,3>，CH<,4>气敏元件。
平面热线式气敏元件及其特性研究
【摘 要】
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以Si为衬底利用射频溅射和平面工艺技术制作Pt膜电极（加热器），再涂以SnO敏感层，制成平面热线式气敏元件。对制作工艺条件及元件的气敏特性进行研究。利用表面修饰技术可以得到选
【机 构】
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大学电子工程系(长春)
【出 处】
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第三届中国功能材料及其应用学术会议
【发表日期】
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1998年期
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