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平面热线式气敏元件及其特性研究
平面热线式气敏元件及其特性研究
来源 :第三届中国功能材料及其应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bostangul
【摘 要】
:
以Si为衬底利用射频溅射和平面工艺技术制作Pt膜电极(加热器),再涂以SnO敏感层,制成平面热线式气敏元件。对制作工艺条件及元件的气敏特性进行研究。利用表面修饰技术可以得到选
【作 者】
:
全宝富
王哲
全海英
孙良彦
孙承松
周立军
李云鹏
【机 构】
:
大学电子工程系(长春)
【出 处】
:
第三届中国功能材料及其应用学术会议
【发表日期】
:
1998年期
【关键词】
:
平面工艺
热线式
气敏元件
技术制作
修饰技术
射频溅射
气敏特性
工艺条件
选择性
膜电极
敏感层
加热器
衬底
表面
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以Si为衬底利用射频溅射和平面工艺技术制作Pt膜电极(加热器),再涂以SnO<,2>敏感层,制成平面热线式气敏元件。对制作工艺条件及元件的气敏特性进行研究。利用表面修饰技术可以得到选择性好的NH<,3>,CH<,4>气敏元件。
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