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薄膜器件失效机理研究
【机 构】
：
清华大学化学系,北京100084清华大学化学系,北京100084;北京科技大学北京科技大学新材料技术研究院,北京100083北京科技大学北京科技大学新材料技术研究院,北京100083
【出 处】
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2015年全国表面分析科学与技术应用学术会议
【发表日期】
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2015年5期
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