AMEC Prismo D-BlueTM MOCVD Platform GaN for LED Mass Production

来源 :2014中国上海国际半导体照明应用技术论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户：PLMM1986

【摘要】

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中微公司介绍中微Prismo D-BlueTM MOCVD设备在中微MOCVD设备上生长的氮化镓系列材料结果总述中微有28,000平方米土地,第一厂房建于2005年,有6,500平方米第二厂房的第一期洁

【作者】

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杜志游

【机构】

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中微半导体设备上海有限公司

【出处】

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2014中国上海国际半导体照明应用技术论坛

【发表日期】

：

2014年7期

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中微公司介绍中微Prismo D-BlueTM MOCVD设备在中微MOCVD设备上生长的氮化镓系列材料结果总述中微有28,000平方米土地,第一厂房建于2005年,有6,500平方米第二厂房的第一期洁净室设备生产线(3000平方米)于2012年8月底启用当第二厂房的第二期全部完成,将有300台设备,60亿人民币的年生产能力

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