【摘 要】
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抑制和降低扑绝缘体薄膜中过高的体载流子浓度是拓扑绝缘体研究中一项重要课题.利用分子束外延技术在透明绝缘氟金云母上进行了Sb掺杂的Bi2Se3拓扑绝缘体薄膜生长.通过原
【机 构】
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电子薄膜与集成器件国家重点实验室,微电子与固体电子学院,电子科技大学,四川,成都610054
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抑制和降低扑绝缘体薄膜中过高的体载流子浓度是拓扑绝缘体研究中一项重要课题.利用分子束外延技术在透明绝缘氟金云母上进行了Sb掺杂的Bi2Se3拓扑绝缘体薄膜生长.通过原位反射式高能电子衍射及后位高分辨率X射线衍射仪对不同Sb掺杂量的(Bi1-xSbx)2Se3薄膜进行研究，观察到x由0.1-0.22之间，薄膜主要呈现同单晶Bi2Se3薄膜一致的斜方六面体的结构，当x≥0.33时，薄膜仍以斜方六面体结构为主，同时还出现了微弱的Sb2Se3相.Sb含量的增加，导致了Sb2Se3另相的析出.通过霍尔测试，观察到Sb掺杂可以有效的降低了薄膜的体载流子浓度，提高了体电阻率.并对薄膜的光学性质进行了研究，该薄膜在可见和近红外波段范围具有较高的透过率.
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