【摘 要】
：
In this paper,a kind of micro piezoresistive pressuresensor for TPMS was designed.Through analyzing the stress distribution of diaphragm by software ANSYS,t
【机 构】
：
State Key Laboratory for Mechanical Manufacturing System,Institute of Precision Engineering,Xi'an J
【出 处】
：
中国微米纳米技术学会第十届学术年会暨第一届国际会议(1st International Conference of th
论文部分内容阅读
In this paper,a kind of micro piezoresistive pressuresensor for TPMS was designed.Through analyzing the stress distribution of diaphragm by software ANSYS,the model of structure was established.The fabrication operated on the single silicon substrate,and applied the technology of anisotropy chemical etching and packaging through glass anodic bonding.Performances of this kind of piezoresistive sensor,including size,sensitivity,temperature coefficient,chemical stability and long-term stability,were investigated.The results showed that the accuracy is 0.5%FS.Therefore,this kind of design reached the desire of the TPMS,not only has smaller size,simplicity preparation and also has high sensitivity,and accuracy.
其他文献
目的:探讨体外膜肺氧合(ECMO)在重症甲型流感病毒感染患儿中进行院间转诊的临床应用，以提高ECMO在重症患儿院间转诊的认识和临床诊疗水平。方法:回顾分析1例我院ECMO支持下转
经过此次调整,银行股基本又回到年初的价位,平均估值为1.4倍2011PB和7.7倍2011PE;而引发此次调整的“地方融资平台方案”利空传言存在巨大不确定性,即便属实影响也相对有限;
黄花菜又名金针菜，营养丰富，经济价值很高。要获得优质黄花菜，必须把好以下几关：一、采摘采收标准是花蕾呈浅黄色，花瓣上纵沟明显，花蕾饱满，花嘴未开裂。晴天一般在下午３时左右，阴雨天
石榴适应性强 ,果实营养价值高 ,且可加工果汁、果酒 ,果仁、果皮均可入药 ,随着市场经济的迅速发展 ,石榴的供应量越来越大 ,石榴早实丰产技术开发研究越显得重要 ,为此 ,我
近年来,随着城镇居民生活水平的提高,多求保健食品,尤其是无污染的野生蔬菜颇受青睐。1994年5月至1997年10月,我们对地处浙南山区的文成县野生蔬菜资源进行了调查及其开发利
目的探讨X连锁高IgM血症的临床表现、诊断及治疗，提高临床对本病的认识。方法回顾性分析1例基因明确诊断的X连锁高IgM血症患儿的临床资料及诊治经过。结果1例3岁9个月的男孩，因"反复口腔溃疡3个月，间断发热伴腹痛2月余"入我院消化科，完善口腔黏膜活检，胃镜、肠镜等检查，病初诊断肠白塞病、中性粒细胞缺乏，给予甲泼尼龙、英夫利昔单抗治疗后，患儿症状无好转，随即出现消化道大出血、气腹、血小板减少、马尔尼