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该文介绍了一种适合于厚膜工艺生产的陶瓷湿敏元件，讨论了工艺参数对元件湿敏特性的影响。实验结果表明该元件灵敏度较高，响应时间50秒，一致性和重复较好。
Zro厚膜湿敏元件
【摘 要】
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该文介绍了一种适合于厚膜工艺生产的陶瓷湿敏元件，讨论了工艺参数对元件湿敏特性的影响。实验结果表明该元件灵敏度较高，响应时间50秒，一致性和重复较好。
【机 构】
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沈阳工业大学信息学院(沈阳)
【出 处】
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第六届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1999年12期
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