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本文论述微系统的组成,研究应用回归分析方法,设计测试微系统中平面加速度场的传感器阵列布置,设计和制造微阵列式加速度传感器.
微阵列式加速度传感器的设计
【摘 要】
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本文论述微系统的组成,研究应用回归分析方法,设计测试微系统中平面加速度场的传感器阵列布置,设计和制造微阵列式加速度传感器.
【机 构】
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电子科技大学
【出 处】
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中国电子学会电子机械工程分会第四届学术年会
【发表日期】
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2000年期
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