【摘 要】
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随着现代半导体技术的发展,集成电路中金属互连线以及电极的特征尺寸正在向10纳米逼近。在这样小的尺度下,作为基础框架的金属形态还能像块体材料那样稳定吗?若有明显差异,如何保障在如此小尺度下电子器件物理性能的稳定性?这一问题向现代集成电路产业提出了理论和技术的挑战。我们借助原位电子显微学技术,观察到10纳米以下金属银纳米晶体颗粒在室温下的类液态形变行为。这种奇特的纳米颗粒塑性形变,超越了传统的金属物理
【机 构】
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东南大学-FEI纳皮米中心,MEMS教育部重点实验室,南京 210096
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随着现代半导体技术的发展,集成电路中金属互连线以及电极的特征尺寸正在向10纳米逼近。在这样小的尺度下,作为基础框架的金属形态还能像块体材料那样稳定吗?若有明显差异,如何保障在如此小尺度下电子器件物理性能的稳定性?这一问题向现代集成电路产业提出了理论和技术的挑战。我们借助原位电子显微学技术,观察到10纳米以下金属银纳米晶体颗粒在室温下的类液态形变行为。这种奇特的纳米颗粒塑性形变,超越了传统的金属物理中位错等缺陷导致的塑性形变理论,在变形的整个过程中颗粒内部始终保持着完好的晶态结构。
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利用离散偶极近似方法,计算了一系列Au纳米空心月牙结构的消光特性及近电场分布,并且与普通月牙形纳米结构的性质进行比较。计算过程中始终保持小月牙的面积不变,入射光垂直于月牙弦入射。在固定小月牙外半径R长度及R圆弧顶点位置a的情况下,内半径r越小,出现的等离激元模式越多,逐渐增加r,主消光峰发生蓝移,但整体上主峰波长均比普通月牙结构主消光峰波长长;消光强度由弱变强,超过普通月牙结构的消光强度。
随着电子器件微型化的不断发展,人们对能源供应系统微型化和安全性能的要求也在不断提高。常规的电池系统已无法满足人们的需求,因此作为用固态电解质替代了普通电解液的全固态薄膜锂离子电池的相关研究也倍受重视,而其中正极材料的开发更是制约着锂离子电池性能提升的关键因素。
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