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高密度等离子体磁控溅射
【机 构】
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辽宁科技大学表面工程研究所
【出 处】
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第五届全国工业等离子体会议暨第五届高离化磁控多弧技术研讨会及第二届 PVD 企校合作高层论坛
【发表日期】
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2017年12期
其他文献
准晶材料因其合适的硬度、低的表面能及低的摩擦系数，明显区别于传统硬质磨料。本工作利用AlCuFe 准晶磨料与金刚石、Al2O3 和SiO2 等传统磨料进行比较，分别在铝合金、铜合