【摘 要】
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微机电系统是以微电子技术为基础发展起来的多学科交叉的前沿的科研领域,它兼有微电子的控制功能和微机械的传感、执行功能,极大的提高了系统的自动化、智能化水平。本文介绍
【机 构】
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哈尔滨工程大学自动化学院,黑龙江哈尔滨 150001
【出 处】
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中国人工智能学会第12届全国学术年会
论文部分内容阅读
微机电系统是以微电子技术为基础发展起来的多学科交叉的前沿的科研领域,它兼有微电子的控制功能和微机械的传感、执行功能,极大的提高了系统的自动化、智能化水平。本文介绍了微机电系统的产生、组成、在惯性技术领域的科研发展现状,综述了微机电系统在航空航天、航海、国防军事领域以及微机器人技术和民用领域的广泛应用,指出了微机电技术在导航控制系统研究中的几个关键的技术问题。作为面向21世纪的新科技,微机电技术的发展必将对社会发展带了来极为深远的影响。
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