DB7亚微米电子束曝光机的电定位系统

来源 :第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liweimin90
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电定位技术是电子束曝光机的一项重要技术。它可对电子束扫描场畸变进行修正,从而使电子束曝光的图形能够进行场与场之间的精确拼接;它还能对曝光过程中电子束的零漂进行修正,从而保证了在长时间曝光中图形的套刻精度。介绍了DB7业微米电子束曝光机上的电定位系统及其对主机的贡献。
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