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本文设计和制作了低波长间隔误差的多波长激光器阵列.多波长激射通过等效-重构啁啾技术实现,通过使用减小端面反射光强的波导结构设计,减小了波长间隔误差.测试结果显示,全部6个阵列的95个激光器中,81.1％的激光器波长偏差在±0.1nm内,所有激光器波长偏差都在±0.2nm内.阵列的平均通道间距为1.605nm,波长间隔的统计标准误差是0.132nm.