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<正>类金刚石薄膜具有硬度高、弹性模量大、摩擦系数低、独特的光学特性和化学惰性等优异性能,可望成为具有广泛应用前景的保护膜和耐磨材料。然而,类金刚石膜高的内应力和较低的附着性在一定程度上阻碍了它们在摩擦副中的广泛应用。提高薄膜力学性能的有效工艺手段之一是制备多层复合膜。
磁过滤直流阴极真空弧技术沉积DLC多层膜及其摩擦学性能研究
【摘 要】
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<正>类金刚石薄膜具有硬度高、弹性模量大、摩擦系数低、独特的光学特性和化学惰性等优异性能,可望成为具有广泛应用前景的保护膜和耐磨材料。然而,类金刚石膜高的内应力和较
【机 构】
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西南交通大学先进材料技术教育部重点实验室国家生物材料工程中心表面改性研究所;
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家基础研究规划项目G1999064705;国家自然科学基金30318006资助。
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