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利用大型的离线镀膜生产线，在浮法玻璃衬底上沉积了氮化硅薄膜，研究了退火后氮化硅薄膜中翘曲的模态选择及其动力学演化规律。实验发现，各类翘曲模态，包括直边形、水泡串和电话线形，能够在氮化硅薄膜中共存。直边形只出现在翘曲生长的早期阶段，并且只能在低于临界宽度时(约为50微米)才能稳定存在。随着翘曲的宽度增加，直边形翘曲逐渐演化为电话线结构。后期生长的翘曲，其宽度都较大，且都表现为电话线形。如果翘曲的顶部发生开裂，直边形和宽度较小的电话线结构均演化为对称的水泡串模式，而宽度较大的电话线结构仍能保持反对称模式。基于单边翘曲的稳定相图，作者详细讨论了各类翘曲模态的稳定区域及其演化规律。